산업용 특수독성가스의 안전관리 방안이 새롭게 정비돼야할 필요성이 시급히 요구되고 있다.
세계 최고의 기술을 축적하고 있는 국내 반도체 및 LCD 산업. 하지만 관련제품을 제조하기 위해서 반드시 필요한 것이 바로 다양한 산업용 특수 독성가스다. 반도체 및 LCD모니터를 제조하기 위해서는 특수가스를 이용한 세정 과정이 반드시 수반돼야하며 이 과정에는 NF3, 모노실란 등 이름도 생소한 다양한 종류의 특수 가스가 사용되기 때문이다. 따라서 자연스레 국내 산업이 세계 최고를 유지하는 만큼 국내 특수 독성가스의 사용량도 비례해 늘어나고 있는 실정이며 안전관리의 문제도 중요한 사안으로 떠오르고 있다.
지난해 3월 삼성전자에 가스를 공급하던 대한특수가스 시화 공장에서 모노실란 누출로 인한 화재가 발생하자 독성가스 누출에 대한 위험성이 제기됐지만 한 걸음 더 나아가 한때 국내 반도체 산업이 생산중단의 위기에 직면해 있다는 해외 전문지의 전망까지 나올 만큼이나 심각한 우려가 제기됐었다. 물론 삼성측이 신속히 다른 원료 수급 루트를 확보함으로써 위기를 극복했으나 삼성전자는 이후 구매방식을 단일 업체를 통한 구매방식에서 채널을 다양화하는 방식으로 전격 전환했다. 즉 특수가스의 수급문제는 비단 안전에 대한 문제를 넘어 국내 주요산업의 막대한 타격을 입힐 수 있는 중대한 문제라는 점을 시사한 사건이었다.
산업용 특수 독성가스의 안정적인 수급과 관리는 안전관리상의 문제 뿐 아니라 국내산업의 판도에 중대한 영향을 끼칠 수 있는 문제로까지 확대되고 있는 상태다. 현재 국내에서 자체 수급되고 있는 산업용 특수 독성가스는 압축모노실란, 포스핀, NF3 등 극히 일부에 불과하다. 대부분이 미국, 일본 등에서 수입 유통되고 있는 실정이며 반도체, LCD 산업 뿐 아니라 수많은 연구소에서 연구 수행을 위해 반드시 필요한 물질로서 중요하게 활용되고 있다.
이처럼 산업용 특수 독성가스는 그 활용도나 필요성에 의해 안전관리 중요성이 갈수록 커지고 있는 상황이다. 하지만 현재 국내법에서는 관련제품의 안전관리체계가 명확히 규정돼 있지 못한 상태에 있다. 고압가스안전관리법은 산업용으로 사용되는 특수 독성가스 7종에 대해서만 사용을 위한 사용신고, 안전관리체계를 갖추도록 하고 있다. 그러나 그 범위가 좁아 전체적인 관리가 어려운 실정이다.
특히 정부의 규제완화 시책으로 수입가스의 신고제도 및 수입업등록제도 등이 폐지되면서 현재는 특수 독성가스의 수입규모나 유통현황이 전혀 파악되지 않고 있는 상태에 있다. 또 소량 자체 수입하여 사용하는 연구소 등은 안전관리에 대한 명확한 규정이 없는 상태로 방치되고 있으며 자칫 운송과정이나 저장, 취급과정에서 누출로 인한 대형 인명 피해나 불특정 다수인에 대한 테러용으로 오용될 가능성마저도 제기되고 있는 실정이다.
관리상에도 문제점은 마찬가지다. 압축모노실란과 같은 독성가스는 대기 중 누출될 경우 검지기로 검지되기 전 자연 발화됨으로 화재가 일어날 소지가 많다. 하지만 가스누출검지경보장치를 설치도록 규정되는 등 제조·저장·사용시설의 설치기준이 현실과 맞지않는 경우가 허다한 상황이라 보다 체계적인 관리를 위해서는 관련 기준에 대한 전면적인 재검토가 필요하다는 것이 전문가들의 지적이다. 또 가스누출시 흡수·중화하는 장치는 삼성전자 등 대규모 사용처의 경우는 비교적 양호하게 운영되고 있는 것으로 나타났으나 설치 위치, 중화제의 종류, 중화능력, 장치의 사양 등은 각 시설마다 달라 일정한 설치기준이 마련될 필요성이 제기되고 있다.
우리와 유사한 사용환경을 가지고 있는 일본의 경우는 관련법을 통해 특수 독성가스 7종 외에도 특수재료가스에 대한 지정관리 제도가 운영되고 있다. 즉 산업용으로 주요하게 사용되고 있는 사불화황(0.1ppm), 삼불화붕소(1ppm), 사불화규소(3ppm), 오불화인(3ppm), 오불화비소(1ppm), 삼불화인(3ppm), 삼불화질소(10ppm) 등 7종에 대해 별도지정관리 제도를 두고 있는 상태다.
따라서 국내에서도 산업용 특수가스의 중요성이 증가하고 있는 만큼 안정적 수급과 안전확보를 위한 체계적인 관리체계가 마련돼야 할 것이다. 우선 첨단산업 발달로 특수한 맹독성 가스의 사용이 증가하는 점을 감안, 법령에서 제외된 독성가스에 대한 안전관리 방안이 강구돼야한다. 즉 안전관리가 필요한 특수독성가스를 추가 지정하거나 허용농도를 규정하는 방안 등이다.
이와 함께 운송전문회사를 파악하고 보호장비 및 재해방지 장비를 갖추도록 하는 동시에 전용운반차량과 운반책임자의 자격을 제안하고 적법한 운송전문회사를 파악, 지속적인 관리가 이루어질 수 있도록 관리체계도 정비해야 한다. 또 장기적으로는 특수독성가스의 수입신고 및 수입업등록제도가 마련되도록 관련법령을 정비해야하며 특수 독성가스시설과 관련된 설치기준 및 기술기준도 각 가스의 종류별로 마련해 효율적이고 안전한 관리가 가능토록 보완해 나가야 할 것이다.