[인터뷰] 성원에드워드(주) 김중조 회장
[인터뷰] 성원에드워드(주) 김중조 회장
  • 고봉길
  • 승인 2004.05.03 00:20
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F₂아시아 시장공략 거점기지 삼을 터
성원에드워드는 지난달 29일 세계 최초로 천안에서 반도체ㆍLCD용 차세대 청정 가스인 `플로린(F₂)' 발생장치 양산시설을 갖추고 준공식을 가졌다. 현재 F₂는 NF₃의 대체가스로서 메이저 반도체업체들의 집중적인 조명을 받고 있다. 이에 성원에드워드의 김중조 회장을 만나 향후 사업계획 등을 들어 보았다. / 편집자주



△ 성원에드워드는 어떤 회사인가



성원에드워드(주)는 지난 1992년 9월 1일 영국의 BOC Group과 합작 법인으로 설립됐다.

우리 회사는 '직원만족을 위한 경영', '고객만족을 위한 경영', '최고품질을 위한 경영' 이라는 경영 방침 아래 Edwards 진공장비 및 Seiko 터보분자 펌프 등 진공장비의 생산, 판매, 서비스까지 고객만족 실현에 앞장서고 있다. 또한 가스처리장치, BOC Gases의 특수가스, 미국 Kachina사 반도체 제조 설비의 부품 세정, 미국 FSI사 화공약품 중앙 공급장치 등 사업영역을 확장했다.

최근에는 반도체 및 FPD 제조 공정에 차세대 세정가스로 각광받고 있는 플로린 제네레이터(Fluorine Generator)생산공장을 완공했다.



△ F₂제조장치 국산 생산의 사업 배경은



지난 99년 세계반도체협의회(WSC)가 지구온난화물질로 규정된 반도체 세정용 PFC 가스 사용을 오는 2010년까지 1997년 수준의 10% 이내로 감축키로 합의한 바 있다.

F₂가스는 기존의 PFC(프레온가스)계열의 NF₃처럼 반도체ㆍLCD의 매 공정별로 장비 내부의 세정에 사용되는 가스지만 대기에 잔류하지 않아 지구온난화현상을 심화시키는 NF₃를 대체할 차세대 청정 물질이다.

과거 이 F₂는 실린더로 공급하더라도 10∼20%로 희석해야 하는 비경제성과 대량 공급의 어려움 때문에 상용화가 못되던 중 영국 국방핵전략연구소에서 개발된 온사이트 발생장치를 BOC 그룹에 전수, 상용화함으로써 PFC의 방출을 대폭 줄일 수 있는 산업용 고순도 F₂를 안정적으로 사용할 수 있는 결정적 계기가 마련했다.

이 후 BOC는 온사이트 제네레이터를 사용량에 맞춰 다양하게 제작된 모델에 따라 TFT-LCD 및 반도체 생산공장내 설치해 F₂가스를 직접 제조했다. 지난 2년간에 거쳐 300mm 반도체 생산 현장과 TFT-LCD 생산 현장에서 평가과정을 걸쳐 그 신뢰성이 입증돼 메이저 반도체업체들의 집중적인 조명을 받았다. 현재 우리 회사의 제품은 삼성전자 기흥공장의 300㎜ 양산라인과 LCD공장에 F₂제너레이터를 공급해 운용 중에 있다. 또한 최근 구미 LG필립스LCD에 자사의 불소발생장치(F₂제네레이터)를 공급하고 'F400' 시제품을 시험가동 중에 있으며 올 상반기부터 하루 최대 16㎏의 고순도 불소(99.96%)를 생산할 수 있다.



△ 올해 중점 추진 사업은



성원에드워드는 지난 2년 동안 F₂제네레이터 제품의 신뢰성 테스트를 통해 얻은 확신으로 세계 최초의 F₂제네레이터 양산제조공장을 완공해 안정된 공급과 수출에 대비하는 한편 생산 현장에 직접 발생장치를 설치, 제품의 안정성을 확보하는데 노력할 것이다. 또한 이번 차세대 모델의 국산화를 성공적으로 수행함으로서 향후 국내 생산을 더욱 공고히 하겠다.



△ 향후 사업 과제는



지난해 8월 천안공장내 2,500여평 부지에서 F₂발생장치 양산공장 기공식을 가졌으며 지난 29일에는 준공식과 함께 F400시제품 모델을 선보였다.

지금까지 F₂발생장비는 소량 주문제작 방식이었으나 본사인 BOC에드워드가 총 30억원을 투자하고 핵심 기술 일체를 이전함에 따라 천안공장에서는 월 16대(F400 기준)의 F₂발생장치를 양산할 수 있게됐다.

세계 최초의 양산시설인 천안공장에 향후 추가 투자를 단행해 대만, 일본, 중국 등 아시아 지역과 나아가 유럽에도 진출할 계획이다.

특히 성원에드워드는 LCD·반도체 등 전 세계 고순도 F₂시장의 90% 이상이 한국에 집중되어 있음을 감안해 천안공장을 대만·일본·중국 등 아시아 시장공략의 거점기지로 삼을 방침으로 향후 시장상황에 따라 추가 투자를 단행, 전 세계를 대상으로한 F₂발생장치의 생산기지로 육성할 계획이다.

성원에드워드의 F₂발생장치 생산공장이 본격 가동됨에 따라 향후 국내 생산을 통해 생산비 및 수입에 따른 물류비를 대폭 절감할 수 있을 것으로 기대된다.



약력

1970년 2월 고려대학교 이공대학 생명공학과 졸업

1986년 2월 중앙대학교 국제경영대학원 국제경영학 석사 졸업

1984.1∼1990.8 성원교역(주) 대표이사

1994.1∼현재 영국 BOC Edwards 이사

2000.1∼현재 한국반도체산업협회 이사

2002.7∼현재 SEMI International Board of Director

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