매출은 481억1,500만원, 영업이익은 37억8,000만원으로 각각 219.1% 및 95.3% 증가했다.
회사측은 "반도체 장비 수출이 전년동기대비 신장과 신규제품인 플라즈마 화학증착장비(PE-CVD) 매출이 호조를 보였기 때문"이라고 설명했다.
한편 아토는 최근 삼성반도체에 이어 하이닉스반도체에도 PE-CVD 관련 장비 공급을 시작했다.
매출은 481억1,500만원, 영업이익은 37억8,000만원으로 각각 219.1% 및 95.3% 증가했다.
회사측은 "반도체 장비 수출이 전년동기대비 신장과 신규제품인 플라즈마 화학증착장비(PE-CVD) 매출이 호조를 보였기 때문"이라고 설명했다.
한편 아토는 최근 삼성반도체에 이어 하이닉스반도체에도 PE-CVD 관련 장비 공급을 시작했다.