[투데이에너지 홍시현 기자] 산업용 공구 및 장비의 세계적인 선두기업 아트라스콥코는 서울 코엑스에서 열리는 ‘20회 반도체대전(SEDEX)’에 참가해 국내 최초로 반도체 장비 유지보수를 위한 스마트 PM 솔루션을 선보인다.
아트라스콥코 산업용공구사업부문은 이번 전시회에서 반도체 제작의 각 장비마다 사용될 수 있는 자동화된 유지보수시스템 ‘스마트 PM 솔루션(Smart Preventive Maintenance Solution)’과 해당 장비를 제조하는데 적용 가능한 자동 조립/계측시스템을 소개할 예정이다. 반도체 제조업의 경우 고가의 반도체 장비로 14단계의 과정을 거쳐 완제품을 만들어내는 섬세한 공정 과정에 비해 유지보수 작업은 작업자가 일반 툴을 이용해 수작업으로 진행된다. 다양한 작업자에 의해 불규칙하게 수행되는 볼트 조립 작업이나 올바르지 않게 사용된 저가의 PM 공구는 잦은 오류나 고장을 일으키는 원인으로 꼽힌다.
아트라스콥코의 스마트 PM 솔루션은 수작업으로 인한 생산성 저하를 막고 장비의 사용 연한을 극대화시키기 위해 개발된 자동 조립/계측시스템이다. 정교하고 자동화된 공구는 물론 작업자 가이드시스템을 통한 정확한 위치 제어로 웨이퍼 품질 향상과 장비 고장률 감소도 기대할 수 있다.
스마트 PM 솔루션은 협동 로봇에 장비 위치 제어시스템을 연동한 고정형과 이동 카트에 무선 전동 너트러너를 연계한 이동형이 있으며 현장 상황에 맞게 최적의 솔루션을 선택할 수 있다. 두 옵션 모두 작업 모니터링과 빅데이터 분석을 위한 데이터 분석 프로그램이 기본적으로 포함돼 각 작업 별 오류 원인 분석이 가능하다.
아트라스콥코 산업용공구의 박진우 사장은 “반도체 관련 장비의 유지보수에 들어가는 신기술 적용 및 혁신 기술개발은 시장 규모와 기술 발전에 비해 도입 속도가 그리 빠르지 않은 편”이라며 “이번 스마트 PM 솔루션은 아트라스콥코가 가진 혁신적인 공구 및 체결 노하우가 집약된 시스템으로 4차 산업혁명 시대의 반도체 PM 솔루션의 미래를 열어 나갈 포문이 될 것”이라고 밝혔다.