대성산업가스, 초고순도 N₂O 제조설비 증설
대성산업가스, 초고순도 N₂O 제조설비 증설
  • 진경남 기자
  • 승인 2018.12.19
  • 댓글 0
이 기사를 공유합니다

반도체 및 OLED 양산 큰 기여 기대
충남 공주에 위치한 대성산업가스 공주특수가스공장.
충남 공주에 위치한 대성산업가스 공주특수가스공장.

[투데이에너지 진경남 기자] 산업용가스와 특수가스 전문기업인 대성산업가스(주)(대표 김형태, 김신한)는 충남 공주시 검상산업단지에 위치한 공주특수가스공장 내에 초고순도 아산화질소(N₂O)를 제조하는 제2공장을 완공하고 본격 생산에 들어갔다고 밝혔다.

이번에 증설된 N₂O 제조설비는 연산 2,600톤 규모로 대성산업가스의 연간 N₂O 생산능력은 4,300톤 규모로 크게 늘어나게 됐다.

고순도 N₂O는 반도체 및 OLED 제조공정에서 모노실란(SiH₄)과 결합해 실리콘옥사이드(SiO₂) 산화막을 증착시키는 데 사용되고 있으며 그 수요량이 해마다 꾸준히 증가하고 있는 특수가스의 일종이다.

이원호 대성산업가스 전무는 “이번 아산화질소 제조설비 증설로 국내 주요 반도체, 디스플레이 분야 고객뿐만 아니라 일본, 대만, 중국 등 해외 고객들에게도 고품질의 제품을 안정적으로 공급할 수 있게 됐다”라며 “고객사의 차세대 반도체 및 OLED 양산에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 덧붙였다.

대성산업가스는 디스플레이 및 반도체산업에서 공정용으로 사용되는 다양한 특수가스를 국산화해 모노실란, 육불화황(SF6), 암모니아(NH₃), 포스핀(PH₃) 혼합가스, 디클로로실란(DCS), 액체헬륨(LHe), 사불화탄소(CF₄), 엑시머레이저(Excimer LASER)가스 등을 정제, 충전, 제조하고 있다. 특히 국내에서는 유일하게 엑시머레이저가스의 주요 원료인 Ne을 직접 생산하고 있다.

또 이 회사는 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 희가스의 국내 제조를 검토하고 있으며 자체 기술로 연구 개발을 마친 주요 특수가스에 대해서도 상용화를 하기 위해 꾸준하게 투자를 진행할 계획인 것으로 알려졌다.

한편 대성산업가스가 2013년 중국에 자회사로 설립한 대성(광저우)기체유한공사는 최신 ASU플랜트와 SiH₄, NF₃, NH₃, He 등 주요 특수가스 제조하고 저장설비를 갖추고 있다.

또한 반도체 및 디스플레이 산업에서 수요가 급속히 증가될 것으로 기대되는 NF₃ 생산을 위해 2015년 중국화공집단공사 계열사인 리밍화공연구설계원유한책임공사와 합작으로 리밍대성불화공유한공사를 설립해 가동 3년차인 올해 제1공장을 풀가동하고 있으며 지난 10월에는 제2공장을 완공하고 본격적인 생산에 들어갔다.

이를 통해 중국 LED시장 등을 겨냥해 안후이성 허페이에 대성(허페이)기체유한공사를 설립하고 NH₃ 플랜트를 가동하고 있다.


댓글삭제
삭제한 댓글은 다시 복구할 수 없습니다.
그래도 삭제하시겠습니까?
댓글 0
댓글쓰기
계정을 선택하시면 로그인·계정인증을 통해
댓글을 남기실 수 있습니다.

해당 언어로 번역 중 입니다.