[투데이에너지 홍수인 기자]울산의 한 공장에서 특수가스인 삼불화질소(NF₃)가 폭발해 1명이 중상을 입는 사고가 발생했다. 현재 소방당국의 조사가 진행 중인 가운데 노후화된 설비가 폭발의 원인으로 추정되고 있다.
지난 2일 오전4시21분경 울산 남구 성암동 소재한 산업용 가스 제조업체인 바슘머트리얼즈 피엠코리아에서 삼불화질소가 폭발하면서 화재가 발생했다.
울산남부소방서에 따르면 화재는 20분만에 진화됐으며 이번 폭발사고로 인해 작업자 1명이 얼굴과 복부 등 전면부에 2도 화상을 입어 병원에서 치료 중이다. 또한 차량 및 설비가 부분 소손돼 220만원 가량의 재산피해를 입은 것으로 추측되고 있다.
이번 사고는 미국에서 수입한 순도 100%의 삼불화질소(NF₃)가 저장된 저장용기 8기(1기당 269.5㎥)를 빈 저장용기 8기로 분합작업공정 중 충전설비 배관에서 폭발했다고 보고 정확한 화재원인은 조사 중이다.
소방당국은 저장용기에서 빈 저장용기로 50%로 충전작업 중 압력차에 의해 고열이 발생돼 노후된 충전 배관 설비에서 화재가 발생했다고 추정하고 있다.
한편 삼불화질소(NF₃)는 암모니아와 불소를 고온·고압반응을 통해 추출하고 정제시키는 과정으로 순도를 높이며 반도체 및 디스플레이 장비의 수명을 연장시키고 세정률을 가속시킬 때 사용한다.