KRISS, 불화수소 수입 의존도 제로 달성
KRISS, 불화수소 수입 의존도 제로 달성
  • 조대인 기자
  • 승인 2021.07.13 22:05
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표준가스 자체 개발·생산 능력 보유
오상협 KRISS 책임연구원(좌)과 박치복 SK머티리얼즈 팀장(우)이 기술협력을 진행하고 있다.
오상협 KRISS 책임연구원(좌)과 박치복 SK머티리얼즈 팀장(우)이 기술협력을 진행하고 있다.

[투데이에너지 조대인 기자] 한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박현민)이 13일 소재‧부품‧장비(이하 소부장) 연구성과 온라인 기자간담회를 갖고 지난 2년간 소부장 관련 분야에 대한 KRISS의 성과와 향후 계획을 발표했다. 

세계 최고 ‘측정표준’ 기술로 우리나라 기업체 개발 기술에 대한 확신을 심어주는 KRISS는 △원천기술 개발 △불화수소를 포함한 반도체용 가스소재 국산화 △연구장비 인력양성까지 소부장 전반을 아우르는 A-Z를 실현하고 있다.

불화수소를 포함한 반도체용 가스 소재 국산화에는 KRISS 가스분석표준그룹의 기술력이 빛을 발했다.

생산 능력은 갖췄지만 제품의 품질을 검증하는 문제가 걸림돌이었던 국내 기업에 KRISS가 애로사항을 해결해 줬다.

일본 수출 규제의 핵심 품목이었던 고순도 불화수소는 반도체 회로를 깎거나 세정에 쓰이는 핵심소재다.

10나노미터(10억분의 1 m) 이하 정밀회로 제작일수록 정확도와 완성도를 높이기 위해 99.9999% 이상의 초고순도가 필수다.

고순도 가스의 순도분석에는 두 가지 방법이 있다.

고순도 가스 순도를 직접 측정하는 법과 가스에 포함된 불순물을 분석해 이를 빼는 간접적인 방법이다.

주된 측정 대상은 불순물이 많이 섞인 소재이기 때문에 100에서 불순물 성분을 빼서 값을 구하는 방법을 사용한다. 이를 위해서 각종 불순물 가스를 측정할 수 있는 장비와 인력, 기술력이 필요하며 국내에서는 KRISS가 유일하게 모든 가스분석에 대한 종합적인 연구 인프라를 갖추고 있다.

KRISS는 세계 최상위권 수준의 가스분석 능력을 보유하고 있으며 불순물 분석에 필요한 가스인증표준물질인 표준가스를 자체 개발하고 생산하는 능력을 보유하고 있다. 뿐만 아니라 KRISS 가스분석표준그룹은 반도체 산업에 대한 다양한 품질평가와 기술 분석을 제공한다.

반도체 공정에서 사용하는 가스 분석장비의 성능평가, 프리커서의 물성 분석, 진공펌프 배관의 막힘 등과 같은 공정상 애로사항 자문 등을 지원하고 있다.

KRISS와 기술협력을 진행하고 있는 SK머티리얼즈 품질분석 담당인 박치복 팀장은 “SK머티리얼즈는 생산과 판매에서 글로벌 1위를 기록하고 있는 세정용 특수가스 NF3(삼불화질소)와 세계 시장점유율 1위인 WF6(육불화텅스텐), 세계 2위인 SiH4(모노실란)을 보유한 국내 소재 산업 선두주자”라며 “앞으로도 KRISS와의 협업을 통해 반도체용 가스 소재 품질을 향상시켜 High Value 소재 기술회사로 도약함과 동시에 국가 소재 산업의 경쟁력을 한 단계 끌어올리겠다”고 말했다.

이상일 KRISS 화학바이오표준본부장은 “사염화규소와 모노실란 등 반도체용 가스의 품질평가를 순차적으로 진행하고 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최할 예정”이라며 “이를 통해 국내 가스 소재 생산 및 보급업체의 가스 품질향상에 기여할 것”이라고 다짐했다.


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