최근 울산화학(주)이 프렉스에어와 NF₃장기공급계약을 체결하고 반도체 및 LCD 특수가스 시장에 본격 진출했다. 울산화학은 지난 65년 10월 한국알미늄공업(주)로 설립됐으며 국내 유일의 유기, 무기 불소화합물 및 불소계 냉매가스 제조기업로서 20여년간 반도체산업, 특수산업, 에어컨냉매 등 산업전반에 걸쳐 가스를 공급하고 있다. 또 지난 86년에는 연구소를 설립, CFC대체물질인 HCFC-141b/142b(코오프론-141b/142b)의 국내 특허 취득과 상용화를 이뤄냈다.

울산화학은 제3세대 대체냉매로 불리는 HFC-32(코오프론-32) 연구 개발에도 박차를 가해 국내·외(미국, 프랑스, 일본)특허 취득은 물론 상용공장을 준공해 국제수준의 제품을 안정적으로 공급하고 있다.

이러한 기술력을 바탕으로 최근 미국 프렉스에어社에 7년간 1억달러 규모의 삼불화질소(NF₃)공급 계약을 체결하고 반도체 및 LCD 특수가스 시장에 본격 진출했다.

현재 울산화학은 프렉스에어 외에 국내외 주요 반도체·LCD 업체들과도 추가 공급 계약을 추진하고 있다.

지해석 대표는 "우리회사가 개발한 NF₃는 상용화된 반도체용 세정가스 중 품질이 우수해 경쟁력이 있다"며 "향후 국내·외 등 주요 반도체 및 LCD 업체에 공급할 계획"이라고 말했다.

울산화학은 이번 공급계약 체결을 계기로 고부가가치 산업인 반도체 및 LCD 관련 세정가스 산업에 더욱 박차를 가하기로 했다.

울산화학은 지난 99년부터 50억원을 투자해 2002년 9월에는 NF₃시험생산을 마쳤으며 2004년 7월 특수가스공장 완공과 함께 11월부터 250톤 규모의 NF₃생산에 돌입한다는 계획을 수립했다. 또 2006년까지 연간 500톤 규모의 생산시설을 갖출 예정이다.

지 대표는 "내년도에 고순도 암모니아와 C2F6·C3F8 등을 생산하는 공장 준공계획을 하고 있다."며 "고기술력을 요구하는 SiF4·WF6 등도 내년말까지 개발을 완료할 방침이다"고 말했다.

한편 이 회사는 현재 불소수지 단량체 연구(PTFE, PVDF, CTFE), 반도체용 Etching가스연구(SF6, NF3, CF4, CHF3, C2F6, C3F8), 리튬2차전지연구(불소계 전해질)등을 진행 중에 있으며 세계 최고의 불소화학기업으로 성장을 목표로 하고 있다.

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