반도체장비 및 특수가스 제조업체인 아토(대표 문상영 www.atto.co.kr)는 삼성전자와 40억7,000만원 규모의 PE CVD공급계약을 체결했다고 최근 밝혔다.

이번 계약기간은 오는 12월20일까지다.

한편 아토는 오는 2006년 상용화를 목표로 반도체 및 LCD제조용 대체물질인 F₂개발에 착수했다.

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