[투데이에너지 박명종 기자] 영국 기반의 반도체 계측 솔루션 전문기업 인피니티시마(Infinitesima)가 ASML을 비롯한 글로벌 파트너사들과 함께 차세대 반도체 제조를 위한 3년간의 공동 개발 프로젝트에 착수한다고 23일 발표했다.
이번 프로젝트는 인피니티시마의 Metron3D 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템을 활용해 하이브리드 본딩, 고개구율(high-NA) EUV 리소그래피, 상보성 전계효과 트랜지스터(CFET) 등 첨단 3D 로직 반도체 구조를 위한 계측 솔루션을 최적화하는 것이 목표다.
핵심 기술인 RPM(Rapid Probe Microscope)은 원자력 현미경의 3차원 표면 탐지 기능과 고속 레이저 활성화, 간섭계의 정확성을 결합한 혁신적 기술이다. 이를 통해 고속 이미징과 간섭계 수준의 정밀도, 깊이 있는 3차원 표면 분석이 가능해진다.
반도체 제조업체들은 기존 광학 및 전자빔 기술로는 해결할 수 없는 차세대 공정 제어를 위해 더 높은 분해능의 3D 계측 솔루션을 절실히 필요로 하고 있다. 특히 고속 대량 생산 환경에서도 소자 전 구조에 걸쳐 정밀한 3D 계측 데이터 확보가 시급한 과제로 부상하고 있다.
프로젝트의 일환으로 인피니티시마는 나노일렉트로닉스 및 디지털 기술 분야의 세계적 연구·혁신 허브인 imec에 장비를 설치할 예정이다. 설치된 시스템은 ASML을 포함한 파트너사들의 차세대 디바이스 개발 가속화와 high-NA EUV 레지스트의 이미징 특성 분석 및 기술 개발에 활용된다.
인피니티시마와 imec의 파트너십은 2021년 RPM 기술을 활용한 팁 유도 나노스케일 단층 촬영 감지 기능의 연구 및 고장 분석 분야 적용 프로젝트로 시작됐다. 이번 협력은 기존 파트너십을 고속 인라인 생산 계측 분야로 확장하는 것으로, 나노미터 이하 수준의 특성과 복잡한 3D 구조에 대한 반도체 업계의 정밀 검사 및 계측 요구에 대응하기 위한 것이다.
피터 젠킨스(Peter Jenkins) 인피니티시마 회장 겸 CEO는 "imec과의 기존 협력을 확장하여 차세대 반도체 공정의 핵심 단계에서 직면하는 중요한 계측 과제들을 지원하게 되어 매우 기쁘다"고 밝혔다.
이번 파트너십을 통해 인피니티시마는 인라인 반도체 계측 분야에서의 선도적 입지를 더욱 강화하고, 점점 더 미세화하고 복잡한 디바이스 아키텍처로 나아가는 반도체 업계의 진화를 뒷받침할 계획이다.
인피니티시마는 반도체 산업을 위한 첨단 계측 솔루션 분야 선도 기업으로, 광범위한 특허 포트폴리오로 보호받는 RPM 기술을 바탕으로 고속 계측 시스템 Metron3D를 출시해 고객들의 인라인 서브 나노미터 3D 공정 제어 수요를 충족하고 있다.