[투데이에너지 윤철순 기자] 환경부 소속 화학물질안전원(안전원)은 오는 6일 초음파 기반의 ‘신속 누출 탐지 및 차단 기술’을 반도체 가스공급설비에 시범 설치한다고 5일 밝혔다.
반도체·디스플레이 산업은 공정 과정에서 독성 및 인화성 가스를 다량 사용해, 사고 발생 시 피해 범위가 타 업종보다 넓고 치명적이다. 이에 따라 누출 시 실내 유입 전 신속한 감지와 차단이 무엇보다 중요하다.
기존 가스공급설비에 적용된 전기화학식 가스감지기는 흡입관을 통해 가스를 감지하는 방식이어서 흡입관 길이에 따라 최대 수 초의 감지 지연이 발생했다.
이에 반해 새롭게 도입된 초음파 탐지 기술은 음파를 활용해 0.5초 이내에 누출을 감지하며 가스 종류와 상관없이 적용이 가능한 게 강점이다.
안전원은 2023년부터 이 기술의 필요성을 인식하고 자체 연구를 진행해 왔으며, 2024년에는 초음파 탐지기를 활용한 원천기술을 국내외 특허로 출원했다.
이어 ‘에스엠인스트루먼트’와 공동으로 지난 6월 시제품 개발에 성공, 이번 달부터는 SK실트론에 시범 설치해 현장 적용에 나섰다.
이 기술을 적용할 경우, 예를 들어 염화수소(HCl)를 다루는 공급설비의 경우 피해 영향 범위가 기존 517m에서 264m로 대폭 축소되는 것으로 분석됐다. 또 누출된 가스의 실내 유입을 신속히 차단해 근로자 안전 확보에도 크게 기여할 것으로 기대된다.
안전원은 이번 시범사업 결과를 바탕으로 기술의 효과를 면밀히 분석, 전국 반도체·디스플레이 사업장에 적극 홍보하고 국제 반도체장비표준(SEMI) 인증 반영을 위한 검증기관과의 협의도 추진할 계획이다.
박봉균 화학물질안전원장은 “이번 사례는 현장 위험성 평가과정에서 누출 감지 지연 문제를 발견하여 이를 해결하기 위한 아이디어를 내고 실제 시제품 개발까지 성공하였다는 데 의의가 있다”며 “앞으로도 현장 중심의 안전 기술 개발을 지속하여 우리 기업들이 보다 안전한 환경을 만들 수 있도록 적극 지원하겠다”라고 강조했다.